| 維修與翻新 ( Repair & Refurbish ) |
| ---- 堅強的問題解決能力與設身處地為客戶著想 |
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| 台灣應解基於客戶的立場，深知所有維修的次系統或機台零件都需要進行完整的檢測，才能確定使用者在上機時不會有其他的問題，為此，台灣應解投資相當的人力、物力建造各式各樣的測試平台來確認維修或翻新的次系統及機台零件其功能性是符合客戶的需求，因裝配於半導體設備之零件涵蓋的應用領域相當廣泛，台灣應解網羅了來自：原廠、知名半導體廠、優秀的資深設備工程師及配合深耕於各應用科學領域的多名碩、博士建立龐大且深廣的知識庫，為製程設備上各類型的零主件或次系統提供完整的解決方案，且此成為台灣應解強大的問題解決能力(Strong Trouble-Shooting Capabilities)。我們的維修測試平台有以下： |
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| RPS (Remote Plasma System) 測試平台 |
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完全模擬機台上的使用環境，其包含：
▲ 氣體流量控制 ▲ 真空壓力控制 ▲ 電流及功率偵測 ▲ 微粒子數量偵測 ▲ 冷卻水流控制 ▲ 全自動控制軟體 |
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| 真空 (Vacuum) 測試平台 |
| 我們針對不同客戶的需求，設計了各式各樣的治具，用以找出維修物件的真正漏點或其問題所在，加以修復，並藉此來確認維修完的物件之功能性達到客戶的需求。 |
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我們擁有以下檢測工具及方法：
▲ 氦氣側漏儀 (INFICON UL1000, 10-12 mbar · l · s-1) ▲ RGA (氣體分析儀) ▲ 保壓測試平台 ▲ Cylinder Cycle Tester
▲ 靜態側漏 ▲ 動態側漏 ▲ 升溫側漏 ▲ 汽缸動作重複測試 |
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| RF Match Box 測試平台 |
| 我們針對不同客戶的需求，來維修 Matching Box，達到真正的客製化維修。因每個客戶的製程條件不同而導致反應室的阻抗匹配狀況也會隨其製程條件而有異，為此，我們願意與客戶密切的合作，發現依每個客戶其Matching Box之最終檢測條件為何，以求維修完成後Matching Box之穩定性。 |
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Adaptor
Power : 3,000[W]
Input : N type
Output : clip type
Detector : V/I probe |
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Dynamic Dummy Load
Power : 3,000[W]
Variable Impedance |
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Throttle Valve 測試平台
我們架設了：
▲ 氣體流量控制器 (MFC)
▲ 真空管路
▲ 真空幫浦
▲ 真空壓力計
▲ 自動回溯控制系統 (PID)
來確認維修完之Throttle Valve的穩定性及反應時間。
（右邊圖片可點擊放大）
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| Spindle 測試平台 |
| 仿造Spindle在機台上的使用環境，而設計出的測試平台，並利用槓桿式量表，進行偏軸測試。 |
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| Heater 升溫測試平台 |
| 自行研發的Heater升溫系統，利用PID回溯控制以達到客戶要求的溫度，可更改取樣時間，以記錄升溫過程曲線。 |
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| DC Power Supply & PCB 維修 |
| 我們在維修機台相關零件的同時，不免會接觸到電路板及電源產生器的問題，台灣應解的工程師因此累積了相當的電路板維修經驗，並購置種種的設備，如：數位示波器、單／雙電源 DC P.S、函數訊號產生器、高阻計、電子負載、高壓棒、來對相關問題作最佳的判斷。 |
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